泰克Keithley 2290 系列高壓直流電源

2290 系列高壓電源非常適合高壓設(shè)備和材料測試，以及高能物理試驗。 為高達(dá) 5000V 的電壓輸出選擇 2290-5 型號電源，為高達(dá) 10,000V 的電壓輸出選擇 2290-10 型號電源。 這些電源測量 1V 分辨率的輸出電壓和 1μA 分辨率的輸出電流。 除了電壓和電流輸出顯示屏外，第三個顯示屏顯示以下四種設(shè)置之一：輸出電壓、電壓限制、電流限制或電流跳閘。

2290系列高壓電源有助于高壓器件和材料測試以及高能物理實驗。2290-5型 5kV電源電壓輸出高達(dá)5000V，2290-10型10kV電源電壓輸出高達(dá)10,000V。2290-5 型電源具有5mA電流能力，2290-10型電源具有1mA電流能力。這些電源可對輸出 電壓進(jìn)行測量，其電壓分辨率是1V，也可以對輸出電流進(jìn)行測量，其電流分辨率 是1μA。除了電壓和電流輸出顯示，第三個顯示屏還可以呈現(xiàn)以下四個設(shè)置中的之 一：輸出電壓、電壓限幅、電流限幅、電流跳閘。這些值可以通過前面板鍵盤設(shè)置。 還可以通過IEEE-4888接口對這些設(shè)置進(jìn)行編程，或者通過模擬控制電壓設(shè)置輸出 電壓。

低噪聲確保高精度低電平測量

當(dāng)使用高靈敏度測量儀器進(jìn)行漏電流或高阻測量時，低輸出噪聲至關(guān)重要。 2290-10型電源最大輸出波分低于1VRMS。2290-5型電源最大輸出波分低于100mVRMS。 2290-5型電源通過選配兩個內(nèi)部濾波器，可將最大輸出波紋降低至3mVRMS。這兩 款電源具有極低的噪聲，便于高靈敏度測量儀器進(jìn)行皮安級的精確電流測量。

保護(hù)用戶和儀器

2290系列電源和2290-PM-200型保護(hù) 模塊可使用戶和儀器免遭危險電壓損害。 當(dāng)高壓測試夾具檢修門打開時，利用電源 內(nèi)置的互鎖電路，可以確保輸出電壓禁用。 此外，2290系列所有電源都具有低壓模擬 輸出，允許對高電壓和輸出電流進(jìn)行安全 監(jiān)控。

在高壓電路中使用低壓測量儀器時， 保護(hù)模塊可以將儀器電壓安全地鉗位在 200V最大值，即使待測器件(DUT)擊穿。 因此，2290系列電源2290-PM-200型保護(hù) 模塊和吉時利附件提供了構(gòu)建安全、高壓 測試環(huán)境所需的一切。

2290-PM-200型保護(hù)模塊對低壓測量設(shè)備提供保 護(hù)，使之免遭200V以上電壓帶來的損害。

主要特點:

• 源電壓高達(dá)5kV和10kV

• 電流測量分辨率1μA

• 低噪聲，適合高精密源和高靈敏度 測量；可選配濾波器，使得5kV電 源噪聲降低至3mVRMS以下

• 安全互鎖控制高壓輸出

• IEEE-488可編程

• 保護(hù)模塊，防止給低壓儀器帶來 損害

應(yīng)用

• 高壓器件擊穿測試

• 高壓組件測試

• 絕緣測試

• 高壓電阻率測試

• 高能物理研究

進(jìn)行高精密電流測量，分辨率1μA

使用吉時利高靈敏度測量儀器，如吉時利數(shù)字源表?源測量單元儀表，能夠測量 低于2290系列電源靈敏度的待測器件(DUT)電流。吉時利數(shù)字源表源測量單元儀表 的靈敏度可低至0.1fA。下圖給出待測器件(DUT)擊穿時2290-PM-200型保護(hù)模塊怎 樣保護(hù)低壓數(shù)字源表源測量單元儀表免遭高壓損害。保護(hù)模塊的漏電流使測量分辨 率限制在皮安級，這要比2290系列電源的電流測量分辨率高50倍。吉時利能夠以最 高電流測量靈敏度提供全面的高壓測量能力。

利用吉時利數(shù)字源表源測量單元儀表對高壓二極管進(jìn)行反向擊穿測試，以測試漏電流。當(dāng)二極管擊穿時， 2290-PM-200 SMU型保護(hù)模塊對數(shù)字源表源測量單元儀表進(jìn)行保護(hù)，使之免遭高壓損害。

易于實現(xiàn)高壓測試系統(tǒng)自動化

2290系列電源的IEEE-488接口允許創(chuàng)建自動化的高壓測試系統(tǒng)。提供的軟件 驅(qū)動程序可以簡化 并加速測試系統(tǒng)開發(fā)。這將進(jìn)一步提高安全性，因為可以對高壓 進(jìn)行程控。

2290-5性能指標(biāo)

5kV電壓電源特性

條件

本文件包括2290-5型高壓電源性能指標(biāo)和補充信息。性能指標(biāo)是經(jīng)過測試的 2290-5型電源標(biāo)準(zhǔn)。一旦出廠，2290-5型滿足這些指標(biāo)。特性、補充特性和典型 值是不保證的，適用溫度23°C ±5°C,相對濕度<70%，只作為有用信息提供。

特性

電壓范圍:

電壓設(shè)置精度?2: ±(0.01%設(shè)置值+ 2.5V).
電壓顯示精度: 電壓設(shè)置精度 ±1V, 典型值(最大值±2V).
電壓分辨 率: 1V (設(shè)置和顯示).
電壓限幅 范圍: 0～100%滿量程
電壓調(diào)節(jié)3:
線電壓: 0.001%，對于±10%線電壓變化
負(fù)載電壓: 0.005%，對于100%負(fù)載變化，典型值
輸出波紋(10kHz–100kHz)4:
0.002%滿量程, VRMS, 最大值 – 無濾波器
1.0mVRMS @ 1kV – 濾波器1或濾波 器2
2.0mVRMS @ 3kV – 濾波器1或濾波 器2
3.0mVRMS @ 5kV – 濾波器2
上升 時間(滿負(fù)載)6,7:
1.5 s，5000V DC 的0-1V – 無濾波器
3 s，3000V DC 的0-1V – 濾波器1
4 s，5000V DC 的0-1V – 濾波器2
放電時間(滿 負(fù)載)6,7:
1 s，5000V DC 至1V DC – 無濾波器
3 s，5000V DC 至1V DC – 濾波器1
4 s，5000V DC 至1V DC – 濾波器2
放電時間(無 負(fù)載)?6:
<12 s (to <50V DC) – 無濾波器
<30 s (to <50V DC) – 濾波器1或濾波器2
建立時間6,7: 從0至可編程電壓;在3s內(nèi)達(dá)到最終值的99.9%
恢復(fù) 時間6,7: 120ms，對于負(fù)載電流40%的步長變化(典型值)

電流設(shè)置精度5: 0.01% ±(0.01% + 2.5μA).
電流分辨率: 1μA.
電流顯示精度: ±1μA,典型值(±2μA,最大值).
穩(wěn)定度: 每小時±0.01%;每8小時<0.03%.
溫度漂移: 50ppm/oC, 0o - 40oC, 典型值
保護(hù): 電弧和短路保護(hù)，可編程電壓和電流限制和電流跳閘。

監(jiān)控器輸出
輸出量程: 0 ～ +10V至滿量程
電流額定 值: 10mA最大值
輸出阻抗:<1Ω
精度: ±0.2%滿量程，100kΩ負(fù)載，最小值
更新速率: 8Hz.

外部電壓設(shè)置
輸入范圍: 0 至 +10V，對于0至滿量程
輸入阻抗: 1MΩ
精度: ±0.2%滿量程
更新速率: 16Hz.
輸出斜率: 在滿負(fù)載時，對于0至滿量程，<(上升時間 + 0.3 s)

公共指標(biāo)

輸入功率: 55 W
2290-5輸入電 壓: 120V ±10%, 50 / 60Hz.
2290E-5輸入電 壓: 240V ±10%, 50 / 60Hz.
2290J-5輸入電壓: 100V ±10%, 50 / 60Hz.
后面板連接器:
SHV公(Kings類1704-1或相當(dāng)型號)
輸出高壓連接器GPIB連接器
BNC連接器(兩個): 電壓設(shè)置/電壓監(jiān)控; 電流監(jiān)控
鈕子開關(guān): 電壓設(shè)置或電壓監(jiān)控
高壓安全互鎖連接器: 3針壓入插頭, 3M部件型號: 37103-A165-00E-MB.
Pin 1: 5V輸出, 1.5mA最大輸出
Pin 2: 輸入 : 高壓輸出啟用: 3 – 24V DC
高壓輸出禁用:<1.2V DC.
Pin 3: 通過100Ω電阻實現(xiàn)經(jīng)典接地
接口協(xié)議: IEEE-488.1
工作環(huán)境: 0o- 40oC; 非冷凝
尺寸: 89mm 高 × 206mm 寬 × 406mm 長 (3.5 in. × 8.1 in. × 16 in.).
重量: 5.5kg (12 lb).
安全:符合歐盟低壓指令
保修: 1年
預(yù)熱時間: 1小時

1. 輸出電壓可以編程至低于50V; 不過，低于50V的性能不是指定的。
2. 當(dāng)濾波器1或濾波器2啟用時，添加±2.5V DC。
3. 調(diào)節(jié)性能適用于25V DC(滿負(fù)載)或50V DC (無負(fù)載)以上。在這些值以下， 儀器不能正確調(diào)節(jié)。
4. 峰-峰值在有效值的5倍以內(nèi)。
5. 當(dāng)濾波器1或濾波器2啟用時，添加2.5μA補償。
6. Times apply with the current limit set to 105% of full scale.
7. 負(fù)載完全是電阻。

2290-5型電源后面板IEEE-488接口連接器、高壓輸出連接器、 模擬控制/輸出連接器以及互鎖連接器

2290-10性能指標(biāo)

10kV電壓電源特性

條件

本文件包括2290-10型高壓電源性能指標(biāo)和補充信息。性能指標(biāo)是經(jīng)過測試的 2290-10型電源標(biāo)準(zhǔn)。一旦出廠，2290-10型滿足這些指標(biāo)。特性、補充特性和典 型值是不保證的，適用溫度23°C ± 5°C, 相對濕度<70%，只作為有用信息提供。

特性

電壓范圍:

電壓設(shè)置精度: ±0.06%滿量程
電壓顯示精度: 電壓設(shè)置精度 ±1V, 典型值 (最大值±2V).
電壓分辨率: 1V (設(shè)置和顯示).
電壓限幅范圍: 0 ～100%滿量程
電壓調(diào)節(jié)2: 線電壓: 0.001%，對于±10%線電壓變化
負(fù)載電壓: 0.04%，對于100%負(fù)載變化，典型值
輸出波紋(300Hz–300kHz): 0.01%滿量程, VRMS,
上升時間(滿負(fù)載情況下從高壓開啟到最終值)?3,4:<6 s到達(dá)最終值的1V以內(nèi)
放電時間(滿負(fù)載情況下到0V)?3,4: 1 s達(dá)到10V以下
放電時間(無負(fù)載) 3:<6 s (至<1%滿負(fù)荷電壓，無負(fù)載，典型值)
建立時間3,4:<4 s到達(dá)最終值的1V以內(nèi)
恢復(fù)時間3,4: 120ms，對于負(fù)載電流40%的步長變化(典型值)
電流限幅 范圍: 0～105%滿量程
電流設(shè)置精度: 0.5%滿量程
電流分辨率: 1μA
電流顯示精度: ±1μA,典型值 (±2μA, 最大值).
跳閘電流范圍: 10μA至105%滿量程(不包括存儲的輸出電荷)
輸出地存儲電荷:<20μC最大值
跳閘響應(yīng)時間:<10ms
穩(wěn)定度: 每小時±0.01%;每8小時<0.03%.
溫度漂移: 50ppm/oC, 0o - 40oC, 典型值
保護(hù): 電弧和短路保護(hù)，可編程電壓和電流限制和電流跳閘。

監(jiān)控器輸出
輸出范圍: 0 至 +10V，對于0至滿量程
電流額定值: 10mA最大值
輸出阻抗: 100Ω
精度: ±0.2%滿量程，負(fù)載最小值1MΩ
更新速率: 87.5Hz.
外部電壓設(shè)置
輸入范圍: 0 至 +10V，對于0至滿量程
輸入阻抗: 1MΩ
精度: ±0.2%滿量程
更新速率: 87.5Hz.
輸出斜率 (滿負(fù)載下5% - 95%):<3 s

公共指標(biāo)

輸入功率: 75 W
輸入電壓: 90V - 264VAC, 47 - 63Hz.
后面板連接器:
輸出電壓連接器：SHV公(Kings類1764-1或相當(dāng)型號)
BNC 連接器(3個): 輸入電壓監(jiān)控; 電流監(jiān)控。
GPIB連接器, 23針。
RS-232, 9針D-sub
高壓安全互鎖連接器:
3針壓入插頭, 3M部件型號:37103-A165-00E-MB.
Pin 1: 5V輸出, 70mA最大輸出
Pin 2: 輸入 :高壓輸出啟用: 5V DC.
高壓輸出禁用: 0V DC或開路連接
Pin 3: 經(jīng)典接地
接口協(xié)議: IEEE-488.1
工作環(huán)境: 0o- 40oC; 非冷凝
尺寸: 89mm 高 × 206mm 寬 × 406mm 長 (3.5 in. × 8.1 in. × 16 in.).
重量: 3.7kg (8 lb).
安全:符合歐盟低壓指令
保修: 1年
預(yù)熱時間: 1小時
1. 輸出電壓可以編程至低于100V; 不過，低于100V的性能不是指定的。
2. 調(diào)節(jié)性能適用于100V DC以上。
3. Times apply with the current limit set to 105% of full scale.
4. 負(fù)載完全是電阻。

2290-10型電源后面板IEEE-488接口連接器、RS-232接口連接器、高壓輸出 連接器、模擬控制/輸出連接器以及互鎖連接器

2290-PM-200性能指標(biāo)

SMU保護(hù)模塊特性

條件

本文件包括2290-PM-200型保護(hù)模塊性能指標(biāo)和補充信息。性能指標(biāo)是經(jīng)過 測試的2290-PM-200型保護(hù)模塊標(biāo)準(zhǔn)。一旦出廠，2290-PM-200型保護(hù)模塊就滿 足這些指標(biāo)。特性、補充特性和典型值是不保證的，適用溫度23°C ±5°C, 相對 濕度<70%，只作為有用信息提供。

特性

漏電流:<10pA，在200V時的典型值
DC直流承載能力:<1.5A，在非鉗位狀態(tài)下
脈沖電流承載能力:最大值10A，在非鉗位狀態(tài)下1%占空比時
最大保護(hù)有功電流: 在鉗位狀態(tài)下 (~230V)，電流必須限于<120mA
保護(hù)電壓: 22 0VDC最小值, 230VDC典型值, 240VDC最大值
尺寸: 81.28mm長 × 81.53mm寬 × 54.10mm高 (3.20 in.長 × 3.21 in. 寬× 2.13 in.高)，包含電壓連接器的最大長度: 5.34 in (135.64mm).
重量: 0.25kg (0.55 lb.).

公共指標(biāo)

保修期: 1年
安全性: 符合UL 61010-1:2012 (第3版)，符合歐盟低壓指令
連接器:
高壓: 5kV連 接器: 公SHV, 直徑0.38 in (9.35mm), Kings 1704-1.
10kV連接器: 母SHV, 直徑0.535 in (13.59mm), Kings 1764-1.
低壓: 三軸母接頭, 2個
安全性:接地端子螺釘, 2個

泰克Keithley 2290 系列高壓直流電源